يستخدم لحفر البلازما، وترسيب البخار الكيميائي وغيرها من العمليات. يشارك الأكسجين النقي في أكسدة المواد العضوية.
تحتاج بعض أجهزة الليزر عالية الطاقة إلى مساعدة الأكسجين.
