تستخدم للحفر البلازما ، وترسب البخار الكيميائي وغيرها من العمليات. الأكسجين النقي يشارك في أكسدة المواد العضوية.
تحتاج بعض الليزر عالية الطاقة إلى مساعدة الأكسجين.
