ប្រើសម្រាប់ការ etching ប្លាស្មា ការបញ្ចេញចំហាយគីមី និងដំណើរការផ្សេងៗទៀត។ អុកស៊ីសែនសុទ្ធចូលរួមក្នុងការកត់សុីនៃសារធាតុសរីរាង្គ។
