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◆ ◆ Applications clés ◆ ◆
1. Industrie des semi-conducteurs:
Ultra-pure CF4 est essentiel pour la gravure du plasma des tranches de silicium et des chambres de dépôt chimique de vapeur (CVD) de nettoyage.
2. Fabrication électronique:
Utilisé comme gaz diélectrique dans des équipements à haute tension et comme matière première pour la production de fluoropolymère.
3. Rassiette environnementale:
Purifie CF4 à partir des flux de récupération des gaz à effet de serre, permettant une réutilisation ou une élimination en toute sécurité.
4. Photonics et lasers:
Fournit CF4 de haute pureté pour les mélanges de gaz laser excimères (par exemple, KRF, lasers ARF).
5. Aerospace:
Fournit CF4 pour les systèmes de réfrigération et d'isolation dans les satellites et les vaisseaux spatiaux.
◆ ◆ Technologie et fonctionnalités ◆ ◆
1. Processus de purification cryogénique:
Prétraitement des gaz d'alimentation : le CF4 brut est comprimé et passé par des lits adsorbants (par exemple, tamis moléculaires, alumine activée) pour éliminer l'humidité, le CO2 et les contaminants acides.
Liquéfaction et distillation :
Le gaz est refroidi à des températures cryogéniques ( -100 ° C à -150 ° C ), où CF4 s'imagine tandis que des impuretés plus légères (par exemple, N2, O2) restent gazeuses.
Une colonne de distillation cryogénique à plusieurs étages sépare CF4 des fluorocarbures plus lourds (par exemple, C2F6) sur la base de différentiels de points d'ébullition.
Polissage final : les impuretés résiduelles (<1 ppm) sont supprimées à l'aide d'épurateurs chimiques ou de matériaux Getter.
2. Composants système:
Colonne de distillation cryogénique : Construction en acier inoxydable ou en nickel-alliage pour résister à de basses températures et des gaz fluorés corrosifs.
Échangeurs de chaleur : conceptions d'aluminium ou de plaque brassières pour une gestion thermique efficace.
Système de contrôle automatisé : Interfaces PLC / SCADA pour une surveillance en temps réel de la pression, de la température et de la pureté.
Mécanismes de sécurité : vannes résistantes à l'explosion, détecteurs de fuite et systèmes de ventilation d'urgence.
3. Efficacité énergétique:
Turboexpanders : récupérer l'énergie à partir de flux de gaz à haute pression vers les compresseurs d'alimentation.
Intégration de la boîte froide : les boîtes froides isolées sous vide minimisent l'entrée de chaleur, en réduisant la consommation d'énergie.
4. Conception modulaire et évolutive:
Unités montées sur le dérapage ou conteneurisées pour une installation et une échelle de capacité faciles (10–1 000 kg / h).
Compatible avec les systèmes hybrides combinant des technologies cryogéniques et d'adsorption.
◆ ◆ Avantages ◆ ◆
Ultra-High Purity : atteint 99,999% de pureté CF4 , de semi-semi, d'ISO et de spécifications de qualité électronique.
GRANCE : réduit les coûts des déchets et du recyclage en récupérant le CF4 à partir de l'échappement du processus.
Conformité environnementale : minimise les émissions de gaz à effet de serre par purification en boucle fermée.
Low-maintenance : les matériaux résistants à la corrosion et les commandes automatisées prolongent la durée de vie de l'équipement.
Flexibilité : traite diverses matières premières, y compris les gaz de sous-produit et le CF4 recyclé.
◆ ◆ Description visuelle (basée sur le texte) ◆ ◆
Bien que les photos réelles ne puissent pas être fournies, le système est généralement disponible:
Une colonne de distillation cryogénique verticale logée dans une boîte froide isolée sous vide.
Réseaux de tuyauterie en acier inoxydable avec des vannes automatisées et des jauges de pression.
Modules montés sur le dérapage contenant des compresseurs, des échangeurs de chaleur et des panneaux de commande.
Signale de sécurité et étiquettes de danger pour manipuler les gaz fluorés.
◆ ◆ Conclusion ◆ ◆
Le système de purification cryogénique CF4 est une pierre angulaire des industries de haute technologie nécessitant des gaz fluorés ultra-pure. En combinant une précision cryogénique avec une ingénierie robuste, il relève des défis critiques dans la fabrication de semi-conducteurs, la durabilité environnementale et la production avancée de matériaux. Sa capacité à offrir une pureté, une efficacité énergétique et une fiabilité opérationnelles inégalées le considèrent comme un outil indispensable pour les industries qui stimulent l'innovation dans les époques d'énergie numérique et verte.
Remarque : Pour les références visuelles, consultez les fabricants d'équipements de gaz industriel (par exemple, Linde, Air Liquide) ou demandez des brochures techniques.
◆ ◆ RFQ ◆ ◆
1. Êtes-vous le fabricant de cet équipement?
Oui, nous sommes un fabricant expérimenté spécialisé dans ce domaine pendant 25 ans.
2. Le système peut-il être personnalisé pour répondre aux exigences spécifiques?
Nous fournissons des solutions sur mesure pour différentes applications.
3. Vos produits ont-ils été déployés sur les marchés mondiaux?
Oui, nous avons réussi à fournir nos usines de séparation d'air dans plus de 50 pays dans le monde, conformément à des normes internationales comme l'ASME.
4. Quels services après-vente fournissez-vous?
Nous offrons un soutien après-vente complet, notamment:
✔ Consultation technique - Guide experte 24/7
✔ Suivi à distance - Suivi des performances du système en temps réel
✔ Packages de maintenance - Inspections planifiées et remplacements consommables
✔ Service sur place - Service d'outre-mer disponible disponible
✔ Alimentation des pièces de rechange - Composants d'origine avec garantie de 18 mois
✔ Formation de l'opérateur - Programmes personnalisés pour l'équipe technique du client
5. Offrez-vous des services de support technique?
Nous vous invitons cordialement à visiter notre usine de fabrication ou à participer à notre séminaire d'échange technique en ligne pour des discussions détaillées.
Nous vous invitons à contacter nos spécialistes techniques pour des consultations détaillées et des solutions personnalisées.