Система очистки CF4 (углерод тетрафлюрид) с использованием криогенной технологии

◆ ◆ Ключевые приложения  ◆ ◆

1. Полупроводниковая промышленность:

• Ultra-Pure CF4 является критическим для травления плазмы кремниевых пластин и чистящих химических камер осаждения паров (CVD).

2. Электроника Производство:

• Используется в качестве диэлектрического газа в высоковольтном оборудовании и в качестве сырья для производства фторполимера.

3. Экологическое исправление:

• Очищает CF4 из потоков восстановления парниковых газов, обеспечивая безопасное повторное использование или утилизацию.

4. фотоника и лазеры:

• Поставляет CF4 с высокой точкой для эксимерных лазерных газовых смесей (например, KRF, ARF-лазеры).

5. Aerospace:

• Предоставляет CF4 для охлаждений и изоляционных систем на спутниках и космическом корабле.

◆ ◆  Технология и функции  ◆ ◆

1. Процесс криогенной очистки:

• Предварительная обработка подачи газа : необработанный CF4 сжимается и передается через адсорбентские слои (например, молекулярные сита, активированные алюминия) для удаления влаги, CO2 и кислых загрязняющих веществ.

• Разжижение и дистилляция :

• Газ охлаждают до криогенных температур ( от -100 ° C до -150 ° C ), где CF4 сжигают, в то время как более легкие примеси (например, N2, O2) остаются газообразными.

• Многоступенчатая криогенная дистилляционная колонка отделяет CF4 от более тяжелых фторуглеродов (например, C2F6) на основе дифференциалов температуры кипения.

• Окончательная полировка : остаточные примеси (<1 ч / млн) удаляются с использованием химических скрубберов или материалов для получения.

2. Системные компоненты:

• Криогенная дистилляционная колонна : конструкция из нержавеющей стали или никель сплава, чтобы выдерживать низкие температуры и коррозионные фторированные газы.

• Теплообменники : сменные алюминиевые или пластинчатые конструкции для эффективного теплового управления.

• Автоматизированная система управления : интерфейсы PLC/SCADA для мониторинга давления, температуры и чистоты в реальном времени.

• Механизмы безопасности : взрывные клапаны, детекторы утечек и системы аварийного вентиляции.

3. Энергетическая эффективность:

• TurboExpanders : Восстановить энергию от газовых потоков высокого давления в силовые компрессоры.

• Интеграция холодной коробки : вакуумные холодные коробки минимизируют тепловой вход, снижая потребление энергии.

4. Модульный и масштабируемый дизайн:

• Установленные или контейнерные устройства для легкой установки и масштабирования емкости (10–1000 кг/ч).

• Совместим с гибридными системами, объединяющими криогенные и адсорбционные технологии.

◆ ◆  Преимущества  ◆ ◆

• Ультра-высокая чистота : достигает 99,999% чистоты CF4 , получения полу, ISO и электроники.

• Эффективность затрат : снижает затраты на отходы и утилизацию за счет восстановления CF4 от выхлопа процесса.

• Соблюдение окружающей среды : сводит к минимуму выбросы парниковых газов за счет очистки с замкнутым контуром.

• Низкое техническое обслуживание : коррозионные материалы и автоматические управления продлевают срок службы оборудования.

• Гибкость : обрабатывает разнообразные сырья, в том числе побочные газы и переработанные CF4.

◆ ◆  Визуальное описание (на основе текста)  ◆ ◆

Хотя фактические фотографии не могут быть предоставлены, система обычно функционирует:

• Вертикальная криогенная дистилляционная колонна , расположенная в холодном ящике с вакуумной изоляцией.

• Сетей трубопроводов из нержавеющей стали с автоматическими клапанами и давлениями.

• Модули, содержащие скид, содержащие компрессоры, теплообменники и управляющие панели.

• Знаки безопасности и опасные этикетки для обработки фторированных газов.

◆ ◆  Заключение  ◆ ◆

Криогенная система очистки CF4 представляет собой краеугольный камень высокотехнологичных отраслей, требующих фторированных газов в ультрачистых фториях. Объединяя криогенную точность с надежной инженерией, он решает критические проблемы при производстве полупроводников, экологической устойчивости и передовым производством материалов. Его способность обеспечивать непревзойденную чистоту, энергоэффективность и операционную надежность, позиционирует его как незаменимый инструмент для отраслей промышленности, стимулирующих инновации в цифровую и зеленую энергию.

Примечание : для визуальных ссылок обратитесь к производителям промышленного газового оборудования (например, Linde, Air Liquide) или запрашивают технические брошюры.

◆ ◆  RFQ  ◆ ◆

1. Вы производитель этого оборудования？

Да, мы являемся опытным производителем, специализирующимся на этой области в течение 25 лет.

2. Можно ли настроить систему для удовлетворения конкретных требований？

Мы предоставляем индивидуальные решения для различных приложений.

3. Были ли ваши продукты развернуты на глобальных рынках?

Да, мы успешно поставили наши заводы по разделению воздуха более чем в 50 странах по всему миру, соблюдая международные стандарты, такие как ASME.

4. Какие послепродажные услуги вы предоставляете?

Мы предлагаем комплексную поддержку после продажи, включая:

✔ Техническая консультация - 24/7 Экспертное руководство

✔ Удаленный мониторинг - отслеживание производительности системы в реальном времени

✔ Пакеты технического обслуживания - запланированные проверки и замена расходных материалов

✔ Служба на месте.

✔ Запасные части поставки - оригинальные компоненты с 18 -месячной гарантией

✔ Обучение оператора - индивидуальные программы для технической команды клиента

5. Вы предлагаете услуги технической поддержки?

Мы сердечно приглашаем вас посетить наше производственное предприятие или принять участие в нашем семинаре по техническому обмену в Интернете для подробных обсуждений.

Мы приветствуем вас, чтобы обратиться к нашим техническим специалистам для получения подробных консультаций и индивидуальных решений.