Usine d’azote gazeux pour la fabrication d’électronique et de semi-conducteurs

◆ ◆ Composants clés et aperçu du processus  ◆ ◆

1. Compression et purification de l’air :

• L'air ambiant est comprimé et filtré pour éliminer les particules, l'humidité, le CO₂ et les hydrocarbures.

• Les unités de pré-purification (par exemple, les tamis moléculaires) garantissent l'élimination des contaminants avant le traitement cryogénique.

2. Refroidissement cryogénique et liquéfaction :

• L'air purifié est refroidi à des températures extrêmement basses (inférieures à -196°C) à l'aide d'échangeurs de chaleur et de turbodétendeurs, ce qui entraîne sa liquéfaction.

• Cet air liquéfié entre dans une colonne de distillation (colonne de fractionnement), où les composants sont séparés en fonction de leur point d'ébullition.

3. Distillation fractionnée :

• L'azote (point d'ébullition : -196°C) et l'oxygène (point d'ébullition : -183°C) sont séparés dans la colonne.

• L'azote gazeux est extrait comme produit de haute pureté, tandis que l'oxygène et les traces de gaz rares (par exemple l'argon) sont collectés comme sous-produits ou évacués.

4. Stockage et distribution :

• L'azote liquide (LN₂) est stocké dans des réservoirs isolés.

• Pour les installations de semi-conducteurs, l'azote est vaporisé et livré via des pipelines sous forme gazeuse, souvent à une pureté supérieure à 99,9999 % (6N)..

◆ ◆  Pourquoi l'azote cryogénique pour l'électronique/semi-conducteurs ?  ◆ ◆

• Ultra-haute pureté : les installations cryogéniques atteignent des niveaux d'impuretés de l'ordre du ppb (parties par milliard) , essentiels pour les processus tels que la lithographie, le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et la gravure, où même des traces d'oxygène ou d'humidité peuvent détruire les micropuces.

• Évolutivité : Convient aux demandes de gros volumes dans les usines de fabrication (usines de fabrication).

• Cohérence : Fournit un approvisionnement stable sur site, réduisant ainsi la dépendance vis-à-vis des livraisons de gaz de tiers.

◆ ◆  Applications dans la fabrication de semi-conducteurs  ◆ ◆

1. Environnement inerte :

• Empêche l'oxydation pendant le recuit, le soudage ou l'emballage des plaquettes.

• Utilisé dans les boîtes à gants et les salles blanches.

2. Gaz de procédé :

• Gaz vecteur pour dopants en CVD et épitaxie.

• Purgez le gaz pour éliminer les résidus réactifs dans les chambres de gravure.

3. Refroidissement :

• Le LN₂ refroidit les équipements, tels que les implanteurs d'ions ou les pompes à vide.

◆ ◆ Avantages des usines d'azote cryogénique  ◆ ◆

• Rentabilité : coûts opérationnels inférieurs pour les utilisateurs à volume élevé par rapport à l'azote en bouteille.

• Fiabilité : Un approvisionnement continu réduit les risques d’arrêt de production.

• Personnalisation : la pureté, la pression et les débits peuvent être adaptés aux exigences de la fabrication.

◆ ◆ Défis  ◆ ◆

• Investissement élevé en capital pour les infrastructures (par exemple, colonnes de distillation, stockage cryogénique).

• Processus de refroidissement énergivore.

• Nécessite un entretien rigoureux pour garantir les normes de pureté.

En résumé, les usines d'azote cryogénique sont indispensables dans la fabrication de produits électroniques et de semi-conducteurs, fournissant l'approvisionnement en azote ultra-pur et fiable nécessaire pour maintenir une production sans défaut et un contrôle avancé des processus.

◆ ◆  Appel d'offres  ◆ ◆

1. Êtes-vous le fabricant de cet équipement ?

Oui, nous sommes un fabricant expérimenté spécialisé dans ce domaine depuis 25 ans.

2. Le système peut-il être personnalisé pour répondre à des exigences spécifiques ?

Nous fournissons des solutions conçues sur mesure pour différentes applications.

3. Vos produits ont-ils été déployés sur les marchés mondiaux ?

Oui, nous avons�fourni avec succès nos usines de séparation de l'air dans plus de 50 pays à travers le monde, conformément aux normes internationales comme l'ASME.

4. Quels services après-vente fournissez-vous ?

Nous offrons un service après-vente complet comprenant :

✔ Consultation technique - Conseils d'experts 24h/24 et 7j/7

✔ Surveillance à distance – Suivi des performances du système en temps réel

✔ Forfaits de maintenance - Inspections programmées et remplacements de consommables

✔ Service sur site – Service d'ingénieur à l'étranger disponible

✔ Fourniture de pièces de rechange - Composants d'origine avec garantie de 18 mois

✔ Formation des opérateurs - Programmes personnalisés pour l'équipe technique du client

5. Offrez-vous des services d'assistance technique ?

Nous vous invitons cordialement à visiter notre usine de fabrication ou à participer à notre séminaire d’échange technique en ligne pour des discussions détaillées.

Nous vous invitons à contacter nos spécialistes techniques pour des consultations détaillées et des solutions personnalisées.