◆ ◆ Ключевые компоненты и обзор процесса ◆ ◆
1. Сжатие и очистка воздуха:
Окружающий воздух сжимается и фильтруется для удаления твердых частиц, влаги, CO₂ и углеводородов.
Устройства предварительной очистки (например, молекулярные сита) обеспечивают удаление загрязнений перед криогенной обработкой.
2. Криогенное охлаждение и сжижение:
Очищенный воздух охлаждается до чрезвычайно низких температур (ниже -196°С) с помощью теплообменников и турбодетандеров, что приводит к его сжижению.
Этот сжиженный воздух поступает в ректификационную колонну (фракционирующую колонну), где происходит разделение компонентов по температурам их кипения.
3. Фракционная перегонка:
В колонне разделяют азот (точка кипения: -196°С) и кислород (точка кипения: -183°С).
Газообразный азот отводится как продукт высокой чистоты, а кислород и следы благородных газов (например, аргон) собираются в качестве побочных продуктов или выбрасываются.
4. Хранение и распространение:
Жидкий азот (LN₂) хранится в изолированных резервуарах.
На полупроводниковых предприятиях азот испаряется и доставляется по трубопроводам в газообразном виде, часто с чистотой, превышающей 99,9999% (6N)..
◆ ◆ Почему криогенный азот для электроники/полупроводников? ◆ ◆
Сверхвысокая чистота : криогенные установки достигают уровней примесей в ppb (частей на миллиард) , необходимых для таких процессов, как литография, химическое осаждение из паровой фазы (CVD) и травление, где даже следы кислорода или влаги могут разрушить микрочипы.
Масштабируемость : Подходит для больших объемов производства на фабриках (производственных предприятиях).
Стабильность : Обеспечивает стабильную поставку газа на объекте, снижая зависимость от поставок газа сторонними организациями.
◆ ◆ Применение в производстве полупроводников ◆ ◆
1. Инертная среда:
Предотвращает окисление во время отжига, пайки или упаковки пластин.
Используется в перчаточных ящиках и чистых помещениях.
2. Технологический газ:
3. Охлаждение:
◆ ◆ Преимущества криогенных азотных установок ◆ ◆
Экономическая эффективность : более низкие эксплуатационные расходы для крупных пользователей по сравнению с азотом в баллонах.
Надежность : непрерывные поставки снижают риски простоя производства.
Персонализация : Чистота, давление и скорость потока могут быть адаптированы к требованиям завода.
◆ ◆ Проблемы ◆ ◆
Высокие капитальные вложения в инфраструктуру (например, дистилляционные колонны, криогенное хранилище).
Энергоемкий процесс охлаждения.
Требует тщательного ухода для обеспечения стандартов чистоты.
Таким образом, криогенные азотные установки незаменимы в производстве электроники и полупроводников, обеспечивая сверхчистый и надежный источник азота, необходимый для поддержания бездефектного производства и расширенного управления процессом.
◆ ◆ Запрос предложений ◆ ◆
1. Вы производитель этого оборудования?
Да, мы являемся опытным производителем, специализирующимся в этой области уже 25 лет.
2. Можно ли настроить систему в соответствии с конкретными требованиями?
Мы предоставляем индивидуальные решения для различных применений.
3. Были ли ваши продукты представлены на мировых рынках?
Да, мы успешно поставили наши воздухоразделительные установки в более чем 50 стран мира, соответствующие международным стандартам, таким как ASME.
4. Какие послепродажные услуги вы предоставляете?
Мы предлагаем комплексную послепродажную поддержку, включая:
✔ Техническая консультация – экспертное руководство 24/7
✔ Удаленный мониторинг — отслеживание производительности системы в режиме реального времени.
✔ Пакеты технического обслуживания: плановые проверки и замена расходных материалов.
✔ Обслуживание на месте — доступно зарубежное обслуживание инженера
✔ Поставка запасных частей – оригинальные комплектующие с гарантией 18 месяцев.
✔ Обучение операторов — индивидуальные программы для технической команды клиента.
5. Предлагаете ли вы услуги технической поддержки?
Мы сердечно приглашаем вас посетить наше производство или принять участие в нашем онлайн-семинаре по техническому обмену для подробного обсуждения.
Мы приглашаем вас обратиться к нашим техническим специалистам для получения подробных консультаций и индивидуальных решений.
