| Tình trạng sẵn có: | |
|---|---|
| Số lượng: | |
◆ ◆ Tổng quan về các thành phần chính và quy trình ◆ ◆
1. Nén và lọc không khí:
Không khí xung quanh được nén và lọc để loại bỏ các hạt, độ ẩm, CO₂ và hydrocarbon.
Các thiết bị tiền lọc (ví dụ, sàng phân tử) đảm bảo loại bỏ các chất gây ô nhiễm trước khi xử lý đông lạnh.
2. Làm mát và hóa lỏng bằng phương pháp đông lạnh:
Không khí tinh khiết được làm mát đến nhiệt độ cực thấp (dưới -196°C) bằng cách sử dụng bộ trao đổi nhiệt và thiết bị giãn nở tuabin, khiến nó hóa lỏng.
Không khí hóa lỏng này đi vào cột chưng cất (cột phân đoạn), tại đây các thành phần được tách ra dựa trên điểm sôi của chúng.
3. Chưng cất phân đoạn:
Nitơ (điểm sôi: -196°C) và oxy (điểm sôi: -183°C) được tách ra trong cột.
Khí nitơ được tách ra dưới dạng sản phẩm có độ tinh khiết cao, trong khi oxy và các khí hiếm dạng vết (ví dụ, argon) được thu thập dưới dạng sản phẩm phụ hoặc được thông hơi.
4. Lưu trữ và phân phối:
Nitơ lỏng (LN₂) được lưu trữ trong bể cách nhiệt.
Đối với các cơ sở bán dẫn, nitơ được hóa hơi và phân phối qua đường ống ở dạng khí, thường có độ tinh khiết vượt quá 99,9999% (6N).
◆ ◆ Tại sao sử dụng Nitơ đông lạnh cho Điện tử/Chất bán dẫn? ◆ ◆
Độ tinh khiết cực cao : Thực vật đông lạnh đạt được mức tạp chất ppb (phần tỷ) , cần thiết cho các quá trình như in thạch bản, lắng đọng hơi hóa học (CVD) và khắc axit, trong đó ngay cả lượng oxy hoặc hơi ẩm cũng có thể làm hỏng vi mạch.
Khả năng mở rộng : Thích hợp cho nhu cầu khối lượng lớn trong các nhà máy (nhà máy chế tạo).
Tính nhất quán : Cung cấp nguồn cung cấp tại chỗ, ổn định, giảm sự phụ thuộc vào việc cung cấp khí đốt của bên thứ ba.
◆ ◆ Ứng dụng trong sản xuất chất bán dẫn ◆ ◆
1. Môi trường trơ:
Ngăn chặn quá trình oxy hóa trong quá trình ủ wafer, hàn hoặc đóng gói.
Được sử dụng trong hộp đựng găng tay và phòng sạch.
2. Khí xử lý:
Khí mang cho chất pha tạp trong CVD và epitaxy.
Lọc khí để loại bỏ dư lượng phản ứng trong buồng ăn mòn.
3. Làm mát:
LN₂ làm mát thiết bị, chẳng hạn như máy cấy ion hoặc máy bơm chân không.
◆ ◆ Ưu điểm của nhà máy sản xuất nitơ đông lạnh ◆ ◆
Hiệu quả chi phí : Chi phí vận hành thấp hơn cho người sử dụng số lượng lớn so với nitơ đóng chai.
Độ tin cậy : Nguồn cung liên tục giúp giảm rủi ro ngừng sản xuất.
Tùy chỉnh : Độ tinh khiết, áp suất và tốc độ dòng chảy có thể được điều chỉnh theo yêu cầu của nhà sản xuất.
◆ ◆ Thử thách ◆ ◆
Đầu tư vốn lớn cho cơ sở hạ tầng (ví dụ: cột chưng cất, kho đông lạnh).
Quá trình làm mát tốn nhiều năng lượng.
Yêu cầu bảo trì nghiêm ngặt để đảm bảo tiêu chuẩn về độ tinh khiết.
Tóm lại, các nhà máy sản xuất nitơ đông lạnh là không thể thiếu trong sản xuất thiết bị điện tử và chất bán dẫn, cung cấp nguồn cung cấp nitơ siêu tinh khiết, đáng tin cậy cần thiết để duy trì quá trình sản xuất không có khuyết tật và kiểm soát quy trình tiên tiến.
◆ ◆ RFQ ◆ ◆
1. Bạn có phải là nhà sản xuất thiết bị này không?
Có, chúng tôi là nhà sản xuất có kinh nghiệm chuyên về lĩnh vực này trong 25 năm.
2. Hệ thống có thể được tùy chỉnh để đáp ứng các yêu cầu cụ thể không?
Chúng tôi cung cấp các giải pháp được thiết kế tùy chỉnh cho các ứng dụng khác nhau.
3. Sản phẩm của bạn đã được triển khai trên thị trường toàn cầu chưa?
Có, chúng tôi đã cung cấp thành công các nhà máy tách khí của mình cho hơn 50 quốc gia trên toàn thế giới, tuân thủ các tiêu chuẩn quốc tế như ASME.
4. Bạn cung cấp những dịch vụ hậu mãi nào?
Chúng tôi cung cấp hỗ trợ sau bán hàng toàn diện bao gồm:
✔ Tư vấn kỹ thuật - hướng dẫn chuyên môn 24/7
✔ Giám sát từ xa - Theo dõi hiệu suất hệ thống theo thời gian thực
✔ Gói bảo trì - Kiểm tra theo lịch trình và thay thế vật tư tiêu hao
✔ Dịch vụ tại chỗ - Có sẵn dịch vụ kỹ sư ở nước ngoài
✔ Cung cấp phụ tùng thay thế - Linh kiện chính hãng được bảo hành 18 tháng
✔ Đào tạo người vận hành - Các chương trình tùy chỉnh cho đội ngũ kỹ thuật của khách hàng
5. Bạn có cung cấp dịch vụ hỗ trợ kỹ thuật không?
Chúng tôi trân trọng mời bạn đến thăm cơ sở sản xuất của chúng tôi hoặc tham gia hội thảo trao đổi kỹ thuật trực tuyến của chúng tôi để thảo luận chi tiết.
Chúng tôi hoan nghênh bạn liên hệ với các chuyên gia kỹ thuật của chúng tôi để được tư vấn chi tiết và giải pháp tùy chỉnh.