◆ ◆ Temel Özellikler ◆ ◆
Nano Ölçekli Saflık Kontrolü – O₂ < 0,1 ppm, H₂O < 0,5 ppm, THC < 0,1 ppm
Titreşimsiz Çalışma – levha hasarını önleyin
Akıllı Partikül Filtrasyonu – Sınıf 1 ISO sertifikalı partikül giderme
Enerji Geri Kazanım Sistemi – %40'a varan enerji tasarrufu Isı entegrasyonuyla
Sıfır Kirlilik Tasarımı – elektro-cilalı paslanmaz çelik borular Ultra temiz pasivasyona sahip
◆ ◆ Kritik Yarı İletken Uygulamaları ◆ ◆
1. Gofret İmalatı
Fotolitografi odasının temizlenmesi
Püskürtme ve CVD proses gazı
Tavlama fırını atmosfer kontrolü
2. Elektronik İmalatı
3. Vakum ve Kontrollü Ortamlar
Kütle spektrometresi kaplaması
Temiz oda basınçlandırması
3D NAND flash bellek üretimi
◆ ◆ Teknik Özellikler ◆ ◆
Parametre |
Şartname |
Kapasite |
300–10.000 Nm³/gün |
Saflık |
%99,9999 (6N sınıfı) |
Çiy Noktası |
<-80°C |
Basınç Kararlılığı |
±%0,1 dalgalanma |
◆ ◆ Gelişmiş Kontrol Sistemleri ◆ ◆
◆ ◆ Neden Sistemimiz ◆ ◆
Düğüm boyutunuz için doğrulama verilerine mi ihtiyacınız var? Yarı iletken gaz uzmanlarımızla bugün iletişime geçin!
◆ ◆ Teklif Talebi ◆ ◆
1. Bu ekipmanın üreticisi siz misiniz?
Evet, 25 yıldır bu alanda uzmanlaşmış deneyimli bir üreticiyiz.
2. Sistem belirli gereksinimleri karşılayacak şekilde özelleştirilebilir mi?
Farklı uygulamalar için özel tasarlanmış çözümler sunuyoruz.
3. Ürünleriniz küresel pazarlarda kullanıldı mı?
Evet, ASME gibi uluslararası standartlara uygun hava ayrıştırma tesislerimizi dünya çapında 50'den fazla ülkeye başarıyla tedarik ettik.
4. Hangi satış sonrası hizmetleri sağlıyorsunuz?
Aşağıdakileri içeren kapsamlı satış sonrası destek sunuyoruz:
✔ Teknik Danışmanlık - 7/24 uzman rehberliği
✔ Uzaktan İzleme - Gerçek zamanlı sistem performansı takibi
✔ Bakım Paketleri - Planlı denetimler ve sarf malzemesi değiştirmeleri
✔ Yerinde Servis - Mühendis denizaşırı servisi mevcuttur
✔ Yedek Parça Temini - 18 ay garantili orijinal bileşenler
✔ Operatör Eğitimi - Müşterinin teknik ekibi için özelleştirilmiş programlar
5. Teknik destek hizmetleri sunuyor musunuz?
Ayrıntılı tartışmalar için sizi üretim tesisimizi ziyaret etmeye veya çevrimiçi teknik değişim seminerimize katılmaya içtenlikle davet ediyoruz.
Detaylı danışmanlık ve özelleştirilmiş çözümler için teknik uzmanlarımızla iletişime geçmenizi bekliyoruz.
