◆ ◆ Caractéristiques clés ◆ ◆
Contrôle de la pureté à l'échelle nanométrique - O₂ <0,1 ppm, H₂o <0,5 ppm, THC <0,1 ppm
Fonctionnement sans vibration - Empêcher les dommages causés par la tranche
Filtration des particules intelligentes - certifiées de classe 1 Élimination des particules
Système de récupération d'énergie - jusqu'à 40% d'économies d'énergie avec intégration thermique
Conception de contamination zéro - tuyauterie électropolie en acier inoxydable avec passivation ultra-nettoyée
◆ ◆ Applications critiques de semi-conducteurs ◆ ◆
1. Fabrication de plaquette
Purge de chambre de photolithographie
Pulvérisation et CVD Process Gas
Contrôle de l'atmosphère de fournaise recuit
2. Fabrication électronique
Test cryogénique des micropuces
Refroidissement de la diode laser
Production de circuit supraconducteur
3. Apim et environnements contrôlés
Couverture de spectromètre de masse
Pressurisation de la salle blanche
Production de mémoire flash NAND 3D
◆ ◆ Spécifications techniques ◆ ◆
Paramètre |
Spécification |
Capacité |
300–10 000 nm³ / jour |
Pureté |
99,9999% (6n grade) |
Point de rosée |
<-80 ° C |
Stabilité de pression |
± 0,1% de fluctuation |
◆ ◆ Systèmes de contrôle avancé ◆ ◆
◆ ◆ Pourquoi notre système ◆ ◆
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◆ ◆ RFQ ◆ ◆
1. Êtes-vous le fabricant de cet équipement？
Oui, nous sommes un fabricant expérimenté spécialisé dans ce domaine pendant 25 ans.
2. Le système peut-il être personnalisé pour répondre aux exigences spécifiques？
Nous fournissons des solutions sur mesure pour différentes applications.
3. Vos produits ont-ils été déployés sur les marchés mondiaux?
Oui, nous avons réussi à fournir nos usines de séparation d'air dans plus de 50 pays dans le monde, conformément à des normes internationales comme l'ASME.
4. Quels services après-vente fournissez-vous?
Nous offrons un soutien après-vente complet, notamment:
✔ Consultation technique - Guide experte 24/7
✔ Suivi à distance - Suivi des performances du système en temps réel
✔ Packages de maintenance - Inspections planifiées et remplacements consommables
✔ Service sur place - Service d'outre-mer disponible disponible
✔ Alimentation des pièces de rechange - Composants d'origine avec garantie de 18 mois
✔ Formation de l'opérateur - Programmes personnalisés pour l'équipe technique du client
5. Offrez-vous des services de support technique?
Nous vous invitons cordialement à visiter notre usine de fabrication ou à participer à notre séminaire d'échange technique en ligne pour des discussions détaillées.
Nous vous invitons à contacter nos spécialistes techniques pour des consultations détaillées et des solutions personnalisées.
