◆ ◆ Principales caractéristiques ◆ ◆
Contrôle de pureté à l'échelle nanométrique – O₂ < 0,1 ppm, H₂O < 0,5 ppm, THC < 0,1 ppm
Fonctionnement sans vibrations – évite d’endommager les plaquettes
Filtration intelligente des particules – certifiées ISO de classe 1 Élimination des particules
Système de récupération d'énergie – Jusqu'à 40 % d'économies d'énergie avec l'intégration de la chaleur
Conception zéro contamination – Tuyauterie en acier inoxydable électropoli avec passivation ultra-propre
◆ ◆ Applications critiques des semi-conducteurs ◆ ◆
1. Fabrication de plaquettes
Purge de la chambre de photolithographie
Gaz de procédé de pulvérisation et CVD
Contrôle de l'atmosphère du four de recuit
2. Fabrication électronique
Tests cryogéniques de micropuces
Refroidissement des diodes laser
Production de circuits supraconducteurs
3. Environnements sous vide et contrôlés
Couverture du spectromètre de masse
Pressurisation des salles blanches
Production de mémoire flash NAND 3D
◆ ◆ Spécifications techniques ◆ ◆
Paramètre |
Spécification |
Capacité |
300 à 10 000 Nm³/jour |
Pureté |
99,9999 % (qualité 6N) |
Point de rosée |
<-80°C |
Stabilité de la pression |
Fluctuation de ±0,1 % |
◆ ◆ Systèmes de contrôle avancés ◆ ◆
◆ ◆ Pourquoi notre système ◆ ◆
Besoin de données de validation pour la taille de votre nœud ? Contactez nos spécialistes des gaz semi-conducteurs dès aujourd’hui !
◆ ◆ Appel d'offres ◆ ◆
1. Êtes-vous le fabricant de cet équipement ?
Oui, nous sommes un fabricant expérimenté spécialisé dans ce domaine depuis 25 ans.
2. Le système peut-il être personnalisé pour répondre à des exigences spécifiques ?
Nous fournissons des solutions conçues sur mesure pour différentes applications.
3. Vos produits ont-ils été déployés sur les marchés mondiaux ?
Oui, nous avons�fourni avec succès nos usines de séparation de l'air dans plus de 50 pays à travers le monde, conformément aux normes internationales comme l'ASME.
4. Quels services après-vente fournissez-vous ?
Nous offrons un service après-vente complet comprenant :
✔ Consultation technique - Conseils d'experts 24h/24 et 7j/7
✔ Surveillance à distance – Suivi des performances du système en temps réel
✔ Forfaits de maintenance - Inspections programmées et remplacements de consommables
✔ Service sur site – Service d'ingénieur à l'étranger disponible
✔ Fourniture de pièces de rechange - Composants d'origine avec garantie de 18 mois
✔ Formation des opérateurs - Programmes personnalisés pour l'équipe technique du client
5. Offrez-vous des services d'assistance technique ?
Nous vous invitons cordialement à visiter notre usine de fabrication ou à participer à notre séminaire d’échange technique en ligne pour des discussions détaillées.
Nous vous invitons à contacter nos spécialistes techniques pour des consultations détaillées et des solutions personnalisées.
