◆ ◆ Características clave ◆ ◆
Control de pureza a nanoescala - O₂ <0.1 ppm, H₂O <0.5 ppm, THC <0.1 ppm
Operación sin vibraciones : evitar daños por obleas
Filtración de partículas inteligentes : con certificación ISO de clase 1 eliminación de partículas
Sistema de recuperación de energía : hasta un 40% de ahorro de energía con integración de calor
Diseño de contaminación cero : tubería de acero inoxidable electropulada con pasivación ultra limpia
◆ ◆ Aplicaciones críticas de semiconductores ◆ ◆
1. Fabricación de obleas
Purgación de cámara de fotolitografía
Gas de proceso de pulverización y CVD
Recocido de control de atmósfera del horno
2. Fabricación de electrónica
Prueba criogénica de microchips
Enfriamiento del diodo láser
Producción de circuito superconductor
3. Vacú y entornos controlados
Manejo del espectrómetro de masas
Presurización de la sala limpia
Producción de memoria Flash 3d NAND
◆ ◆ Especificaciones técnicas ◆ ◆
Parámetro |
Especificación |
Capacidad |
300–10,000 nm³/día |
Pureza |
99.9999% (grado 6n) |
Punto de rocío |
<-80 ° C |
Estabilidad de presión |
± 0.1% de fluctuación |
◆ ◆ Sistemas de control avanzados ◆ ◆
◆ ◆ Por qué nuestro sistema ◆ ◆
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◆ ◆ RFQ ◆ ◆
1. ¿Eres el fabricante de este equipo？
Sí, somos un fabricante experimentado que se especializa en este campo durante 25 años.
2. ¿Se puede personalizar el sistema para cumplir con los requisitos específicos？
Proporcionamos soluciones de ingeniería personalizada para diferentes aplicaciones.
3. ¿Se han implementado sus productos en los mercados globales?
Sí, hemos suministrado con éxito nuestras plantas de separación de aire a más de 50 países en todo el mundo, cumpliendo con estándares internacionales como ASME.
4. ¿Qué servicios postventa proporciona?
Ofrecemos apoyo postventa integral que incluye:
✔ Consulta técnica: orientación experta 24/7
✔ Monitoreo remoto: seguimiento de rendimiento del sistema en tiempo real
✔ Paquetes de mantenimiento: inspecciones programadas y reemplazos de consumibles
✔ Servicio de servicio en el sitio -ingeniería de servicios excesos disponibles
✔ Suministro de repuestos: componentes originales con garantía de 18 meses
✔ Capacitación del operador: programas personalizados para el equipo técnico del cliente
5. ¿Ofrecen servicios de soporte técnico?
Lo invitamos cordialmente a visitar nuestras instalaciones de fabricación o participar en nuestro seminario de intercambio técnico en línea para discusiones detalladas.
Le damos la bienvenida para comunicarse con nuestros especialistas técnicos para consultas detalladas y soluciones personalizadas.
