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◆ ◆ Funciones clave ◆ ◆
Control de pureza a nanoescala : O₂ < 0,1 ppm, H₂O < 0,5 ppm, THC < 0,1 ppm
Funcionamiento sin vibraciones : evita daños en las obleas
Filtración inteligente de partículas : con certificación ISO Clase 1 eliminación de partículas
Sistema de recuperación de energía : hasta un 40 % de ahorro de energía con integración de calor
Diseño de contaminación cero : tuberías de acero inoxidable electropulido con pasivación ultralimpia
◆ ◆ Aplicaciones críticas de semiconductores ◆ ◆
1. Fabricación de obleas
Purga de la cámara de fotolitografía
Gas de proceso de pulverización catódica y CVD
Control de la atmósfera del horno de recocido
2. Fabricación de productos electrónicos
Pruebas criogénicas de microchips.
Refrigeración del diodo láser
Producción de circuitos superconductores.
3. Vacío y ambientes controlados
Cobertura de espectrómetro de masas
Presurización de salas blancas
Producción de memoria flash 3D NAND
◆ ◆ Especificaciones técnicas ◆ ◆
Parámetro |
Especificación |
Capacidad |
300–10.000 Nm³/día |
Pureza |
99,9999% (grado 6N) |
Punto de rocío |
<-80°C |
Estabilidad de presión |
±0,1 % de fluctuación |
◆ ◆ Sistemas de control avanzados ◆ ◆
Monitoreo de pureza – analizador en línea
Mantenimiento predictivo : integración de la cromatografía de gases
◆ ◆ Por qué nuestro sistema ◆ ◆
Diseño sin tiempo de inactividad : conmutación automática
Instalación llave en mano : incluye analizadores de gases y tuberías compatibles con salas blancas
¿Necesita datos de validación para el tamaño de su nodo? ¡Póngase en contacto con nuestros especialistas en gases semiconductores hoy!
◆ ◆ Solicitud de cotización ◆ ◆
1. ¿Es usted el fabricante de este equipo?
Sí, somos un fabricante experimentado que se especializa en este campo desde hace 25 años.
2. ¿Se puede personalizar el sistema para cumplir con requisitos específicos?
Proporcionamos soluciones diseñadas a medida para diferentes aplicaciones.
3. ¿Se han implementado sus productos en los mercados globales?
Sí, hemos suministrado con éxito nuestras plantas de separación de aire a más de 50 países en todo el mundo, cumpliendo con estándares internacionales como ASME.
4. ¿Qué servicios postventa ofrecen?
Ofrecemos soporte postventa integral que incluye:
✔ Consulta técnica: orientación de expertos 24 horas al día, 7 días a la semana
✔ Monitoreo remoto: seguimiento del rendimiento del sistema en tiempo real
✔ Paquetes de mantenimiento: inspecciones programadas y reemplazos de consumibles
✔ Servicio in situ: servicio de ingeniero en el extranjero disponible
✔ Suministro de Repuestos - Componentes originales con garantía de 18 meses
✔ Capacitación de Operadores - Programas personalizados para el equipo técnico del cliente
5. ¿Ofrecen servicios de soporte técnico?
Lo invitamos cordialmente a visitar nuestras instalaciones de fabricación o participar en nuestro seminario de intercambio técnico en línea para discusiones detalladas.
Le invitamos a comunicarse con nuestros especialistas técnicos para consultas detalladas y soluciones personalizadas.