◆ ◆ Ключевые особенности ◆ ◆
Наномасштабный контроль чистоты – O₂ < 0,1 ppm, H₂O < 0,5 ppm, THC < 0,1 ppm
Работа без вибрации – предотвращает повреждение пластины
Интеллектуальная фильтрация частиц – по стандарту ISO класса 1 удаление твердых частиц
Система рекуперации энергии – экономия энергии до 40 % за счет интеграции тепла
Конструкция с нулевым загрязнением : трубы из электрополированной нержавеющей стали с ультрачистой пассивацией.
◆ ◆ Критические полупроводниковые приложения ◆ ◆
1. Изготовление пластин
Очистка камеры фотолитографии
Технологический газ для распыления и CVD
Контроль атмосферы в печи отжига
2. Производство электроники
Криогенные испытания микрочипов
Охлаждение лазерного диода
Производство сверхпроводящих схем
3. Вакуум и контролируемая среда
Покрытие масс-спектрометра
Герметизация чистых помещений
Производство флэш-памяти 3D NAND
◆ ◆ Технические характеристики ◆ ◆
Параметр |
Спецификация |
Емкость |
300–10 000 Нм³/сут. |
Чистота |
99,9999% (класс 6Н) |
Точка росы |
<-80°С |
Стабильность давления |
±0,1% колебания |
◆ ◆ Передовые системы управления ◆ ◆
◆ ◆ Почему наша система ◆ ◆
Конструкция с нулевым временем простоя – автоматическое переключение
Установка «под ключ» — включает в себя трубопроводы и газоанализаторы, совместимые с чистыми помещениями.
Нужны данные проверки для размера вашего узла? Свяжитесь с нашими специалистами по полупроводниковым газам сегодня!
◆ ◆ Запрос предложений ◆ ◆
1. Вы производитель этого оборудования?
Да, мы являемся опытным производителем, специализирующимся в этой области уже 25 лет.
2. Можно ли настроить систему в соответствии с конкретными требованиями?
Мы предоставляем индивидуальные решения для различных применений.
3. Были ли ваши продукты представлены на мировых рынках?
Да, мы успешно поставили наши воздухоразделительные установки в более чем 50 стран мира, соответствующие международным стандартам, таким как ASME.
4. Какие послепродажные услуги вы предоставляете?
Мы предлагаем комплексную послепродажную поддержку, включая:
✔ Техническая консультация – экспертное руководство 24/7
✔ Удаленный мониторинг — отслеживание производительности системы в режиме реального времени.
✔ Пакеты технического обслуживания: плановые проверки и замена расходных материалов.
✔ Обслуживание на месте — доступно зарубежное обслуживание инженера
✔ Поставка запасных частей – оригинальные комплектующие с гарантией 18 месяцев.
✔ Обучение операторов — индивидуальные программы для технической команды клиента.
5. Предлагаете ли вы услуги технической поддержки?
Мы сердечно приглашаем вас посетить наше производство или принять участие в нашем онлайн-семинаре по техническому обмену для подробного обсуждения.
Мы приглашаем вас обратиться к нашим техническим специалистам для получения подробных консультаций и индивидуальных решений.
