Nhà máy Nitơ lỏng cho Sản xuất Điện tử và Bán dẫn

◆ ◆ Các tính năng chính  ◆ ◆

• Kiểm soát độ tinh khiết ở cấp độ nano – O₂ < 0,1 ppm, H₂O < 0,5 ppm, THC < 0,1 ppm

• Hoạt động không rung - ngăn ngừa hư hỏng tấm bán dẫn

• Lọc hạt thông minh – được chứng nhận ISO loại 1 Loại bỏ hạt

• Hệ thống phục hồi năng lượng – Tiết kiệm tới 40% năng lượng khi tích hợp nhiệt

• Thiết kế không ô nhiễm – Đường ống thép không gỉ được đánh bóng bằng điện với khả năng thụ động siêu sạch

◆ ◆  Các ứng dụng bán dẫn quan trọng  ◆ ◆

1. Chế tạo wafer

• Làm sạch buồng quang khắc

• Khí quá trình phún xạ & CVD

• Kiểm soát không khí lò ủ

2. Sản xuất điện tử

• Thử nghiệm đông lạnh của vi mạch

• Làm mát điốt laser

• Sản xuất mạch siêu dẫn

3. Môi trường chân không và được kiểm soát

• Lớp phủ máy quang phổ khối

• Điều áp phòng sạch

• Sản xuất bộ nhớ flash 3D NAND

◆ ◆  Thông số kỹ thuật  ◆ ◆

tham số	Đặc điểm kỹ thuật
Dung tích	300–10.000 Nm³/ngày
độ tinh khiết	99,9999% (lớp 6N)
điểm sương	<-80°C
Ổn định áp suất	±0,1% dao động

◆ ◆ Hệ thống điều khiển tiên tiến ◆ ◆

• Giám sát độ tinh khiết – máy phân tích trực tuyến

• Bảo trì dự đoán - tích hợp sắc ký khí

◆ ◆  Tại sao hệ thống của chúng tôi  ◆ ◆

• Thiết kế không ngừng hoạt động – chuyển đổi tự động

• Lắp đặt chìa khóa trao tay – Bao gồm máy phân tích khí và đường ống tương thích với phòng sạch

Cần dữ liệu xác thực cho kích thước nút của bạn? Hãy liên hệ với các chuyên gia về khí bán dẫn của chúng tôi ngay hôm nay!

◆ ◆  RFQ  ◆ ◆

1. Bạn có phải là nhà sản xuất thiết bị này không?

Có, chúng tôi là nhà sản xuất có kinh nghiệm chuyên về lĩnh vực này trong 25 năm.

2. Hệ thống có thể được tùy chỉnh để đáp ứng các yêu cầu cụ thể không?

Chúng tôi cung cấp các giải pháp được thiết kế tùy chỉnh cho các ứng dụng khác nhau.

3. Sản phẩm của bạn đã được triển khai trên thị trường toàn cầu chưa?

Có, chúng tôi đã cung cấp thành công các nhà máy tách khí của mình cho hơn 50 quốc gia trên toàn thế giới, tuân thủ các tiêu chuẩn quốc tế như ASME.

4. Bạn cung cấp những dịch vụ hậu mãi nào?

Chúng tôi cung cấp hỗ trợ sau bán hàng toàn diện bao gồm:

✔ Tư vấn kỹ thuật - hướng dẫn chuyên môn 24/7

✔ Giám sát từ xa - Theo dõi hiệu suất hệ thống theo thời gian thực

✔ Gói bảo trì - Kiểm tra theo lịch trình và thay thế vật tư tiêu hao

✔ Dịch vụ tại chỗ - Có sẵn dịch vụ kỹ sư ở nước ngoài

✔ Cung cấp phụ tùng thay thế - Linh kiện chính hãng được bảo hành 18 tháng

✔ Đào tạo người vận hành - Các chương trình tùy chỉnh cho đội ngũ kỹ thuật của khách hàng

5. Bạn có cung cấp dịch vụ hỗ trợ kỹ thuật không?

Chúng tôi trân trọng mời bạn đến thăm cơ sở sản xuất của chúng tôi hoặc tham gia hội thảo trao đổi kỹ thuật trực tuyến của chúng tôi để thảo luận chi tiết.

Chúng tôi hoan nghênh bạn liên hệ với các chuyên gia kỹ thuật của chúng tôi để được tư vấn chi tiết và giải pháp tùy chỉnh.